政府采購(gòu)意向公告
華南理工大學(xué)2024年11月采購(gòu)意向項(xiàng)目-電子束曝光機(jī)（650萬）政府采購(gòu)意向
為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購(gòu)信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購(gòu)意向公開工作的通知》（財(cái)庫〔2020〕10號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將華南理工大學(xué)2024年11月采購(gòu)意向項(xiàng)目-電子束曝光機(jī)（650萬）采購(gòu)意向公開如下：
（略）采購(gòu)項(xiàng)目名稱：（略）
1電子束曝光機(jī)A（略）電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備采購(gòu)電子束曝光機(jī)1臺(tái)，實(shí)現(xiàn)最小線寬20nm的線（略）溫度波動(dòng)±0.5℃情況下，8小時(shí)內(nèi)束流穩(wěn)定性≤0.5%；6.束斑位置穩(wěn)定性：每小時(shí)≤150nm；7.圖形發(fā)生器掃描頻率：不小于20MHz；8.寫場(chǎng)尺寸：10μm~500μm可調(diào)節(jié)；9.最小線寬：≤20nm；10.拼接精度：（略）-11
≤（略）@100μm寫場(chǎng)；11.套刻精度：≤（略）@100μm寫場(chǎng)；12.工件臺(tái)行程：X方向0~100mm、Y方向0~100mm；13.最大可加工樣品尺寸：4寸；同時(shí)提供不同規(guī)格小樣品的夾具；14.配置激光干涉儀、（略）、（略），進(jìn)樣的時(shí)間≤10分鐘；15.配置分辨率≤50ns的超快脈沖控制模塊和閉環(huán)分辨率≤5nm的納米位移臺(tái)；16.配置UPS電源；17.配置1Hz以上振動(dòng)頻率的主動(dòng)-被動(dòng)集成式減振裝置；
本次公開的采購(gòu)意向是本單位：（略）
華南理工大學(xué)（略）