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上海工程技術(shù)大學(xué)-競(jìng)價(jià)公告(CB（略）0144)
發(fā)布時(shí)間：（略）:12:51截止時(shí)間：（略）:18:25
基本信息：
申購主題：HMDS烘箱
報(bào)價(jià)要求：國(guó)產(chǎn)含稅
發(fā)票類型：增值稅專用發(fā)票
付款方式：（略）
送貨時(shí)間：合同簽訂后30天內(nèi)送達(dá)
安裝要求：免費(fèi)上門安裝（含材料費(fèi)）
預(yù)算：120,000.0000人民幣
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供應(yīng)商資質(zhì)：
備注說明：
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設(shè)備名稱：（略）
數(shù)量/單位：（略）
預(yù)算單價(jià)
品牌
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規(guī)格參數(shù)
質(zhì)保及售后服務(wù)
附件
1
HMDS烘箱
1(臺(tái))
120000
合肥真萍
MD-15
MD-151.采用日本進(jìn)口控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。2.（略）配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。3.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。（略）采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。4.低液報(bào)警裝置，采用國(guó)際領(lǐng)先的液體感測(cè)器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過低時(shí)發(fā)出報(bào)警并生成低液位報(bào)警記錄）5.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序未啟動(dòng)時(shí)會(huì)及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)）6.載物托架：2塊7.室溫+30℃-200℃（最高溫度250℃）控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：±0.5℃8.真空泵：愛德華干泵，真空度：133pa，9.可放2寸晶圓片,4寸晶圓片,6寸晶圓片，8寸晶圓片,；
按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)
HMDS銷售情況2023全年-市占率.xlsx
HMDS專利-合肥真萍.jpg
HMDS烘箱關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置.xlsx
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